그린 트위드(Greene Tweed)가 저온 에치(Etch) 및 증착(deposition) 애플리케이션에 견딜 수 있게 설계된 압축 성형 퍼플루오롤라스토머(Perfluoroelastomer, FFKM) 신제품, Chemraz® 663 출시를 발표했다. FFKM은 정전 척(ESC) 어셈블리와 같이 플라즈마 내성 및 진공 상태에서의 밀봉력 유지가 매우 중요하다. 저온 작동 수용능력(최하 -40°C/-40°F)과 고순도(20,000 ppb 미만의 미량 금속 함량)를 특징...